第二届严谨衡量技能与前辈筑设汇集集会时刻，两位专家将分享扫描白光干预技能及其正在半导体行业的规范行使。

　　高附加值产物中元器件的皮相状貌，征求几何体式和微观纹理，关于其公差、装置和性能至闭厉重。皮相状貌对筑设工艺的转移特别敏锐，由差别工艺变成的皮相纷乱且多样。皮相状貌会影响零件的摩擦学特质、磨损和行使寿命，比方航发叶片的皮相会影响飞机的气氛动力学功能和燃料行使恶果。

　　扫描白光干预术原委30多年成长，正在筑设和科研范围取得验证，成为皮相状貌高精度衡量技能的标杆，更加正在半导体、严谨光学和消费电子等家产的激动下，其衡量性能和功能取得了接连晋升。以扫描白光干预术为代表的光学衡量技能，填塞诈骗了光的震撼属性以及干预和全息成像的上风，以光的波长动作“尺子”，正在前辈的光学、电子和机器元器件的维持下，将正在前辈筑设与智能筑设中充任越来越厉重的脚色。

　　苏榕博士，筹议员，博士生导师，中国科学院及上海市海表高宗旨人才引进。长远努力于超严谨光学干预成像与散射衡量仪器与技能筹议，聚焦根蒂表面、核默算法、校准技能、工业行使及联系国际圭臬同意。主理多项国度和省部级要点研发项目；揭晓论文40余篇，册本章节2章，个人技能被国际顶尖仪器筑设商采用精密机械。担当期刊《Light: Advanced Manufacturing》和《Nanomanufacturing and Metrology》编委及《激光与光电子学转机》青年编委精密机械，SPIE-Photonics Europe、EOSAM和ASPE技能委员会委员，天下产物几何技能模范圭臬化技能委员会委员，中国计量测试学管帐量仪器专业委员会委员，中国仪器仪表学会显微分会委员威客电竞。

　　《前辈封装工艺中三维几何尺寸监控的挑衅与布鲁克白光干预技能的计量处理计划》（点击报名）

　　黄鹤博士现任布鲁克公司纳米皮相仪器部中国区行使司理。效劳于工艺开发和衡量仪器行业高出15年精密机械，更加正在半导体、数据存储和资料皮相工程筹议范围具有充足体味精密机械，是一名资料学博士精密机械。黄鹤博士先后正在香港理工大学任帮研；正在行使资料公司任高级行使工程师，担负化学机器扔光工艺和缺陷检测行使；正在维易科公司任行使科学家，担负白光干预三维状貌技能扩展与导入。

　　【陈诉摘要】正在半导体行业门道图对连接缩幼晶体管几何尺寸的迅速找寻的激动下，PCB/HDI更加载板筑设商正正在通过更薄的高密度互连威客电竞，将多芯片模块（蕴涵芯粒）借由基板上开辟更幼、更群集的性能。正在多量量临蓐流程中，关于更细线宽的铜线（Line）、更幼启齿的孔洞（Via）和深沟槽（Trench）及层间对位过错（Overlay）等三维几何尺寸的衡量面对多种新的挑衅。而具备计量性能的 ContourSP 大型面板高效衡量体系特意计划用于正在筑设流程中衡量载板面板的每一层，确保正在临蓐流程中最短的工艺开辟时刻、最高的产量、最长的寻常运转时刻和最太平的衡量结果威客电竞。另表，本陈诉也会大意先容白光干预技能正在晶圆封装时再布线工艺（RDL）监控中的规范行使。扫描白光过问表貌形容威客电竞丈量技能及操纵——第二届缜密丈量与优秀建设搜集集会通知推举